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更新时间:2015-08-10

Linetech质量流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

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 Linetech质量流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

 

 Linetech质量流量计主要参数:

 

流量范围:               0.005-1000(slpm)

响应时间:               ≤2

精    度:               ≤1%0.2%

重 复 性:               ±0.25

输出信号:               0-5vdc或4-20mA

供电电压:               15-28vdc

温度范围:               0-50℃

 

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